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发明名称 METHOD OF CONTROLLING DIFFUSION MODULE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01257333(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880083983 申请日期 1988.04.07
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAGAMI RYOICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/02;H01L21/304 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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