发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01257366(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880085776 申请日期 1988.04.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ASAHI YOSHINORI
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/10 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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