发明名称 IC MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01257281(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880086431 申请日期 1988.04.07
申请人 NEC CORP 发明人 KUROSAWA MASANORI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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