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发明名称 CELL FOR MOLECULAR BEAM EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH01257188(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880082660 申请日期 1988.04.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO MICHIHIRO
分类号 H01L21/203;C30B23/08 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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