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发明名称 MICROWAVE MATCHING APPARATUS AND MICROWAVE MATCHING
摘要
申请公布号 JPH01257331(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880246570 申请日期 1988.09.30
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA MITSUHIRO;IKEGAMI HARUHIKO;OIWA KIYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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