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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01257321(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880085969 申请日期 1988.04.07
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU YAMANASHI ELECTRON:KK 发明人 GOTO OSAMU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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