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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01256150(A)
申请公布日期
1989.10.12
申请号
JP19880084310
申请日期
1988.04.06
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
ENDO TAKASHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
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