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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01256168(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880084739 申请日期 1988.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KURODA TAKAO
分类号 H01L21/316;H01L27/14;H01L27/148 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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