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经营范围
发明名称
MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01255672(A)
申请公布日期
1989.10.12
申请号
JP19880081268
申请日期
1988.04.04
申请人
CANON INC
发明人
YAMAMURA MASATERU;KATO MINORU;MISUMI TERUO
分类号
C23C16/50;C23C16/511
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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