发明名称 MANUFACTURE OF PHOTODETECTOR USING SUPERLATTICE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH01255282(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880083536 申请日期 1988.04.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUYA AKIRA;MAKIUCHI MASAO;WADA OSAMU
分类号 H01L31/107;H01L31/10 主分类号 H01L31/107
代理机构 代理人
主权项
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