SUBSTRATE CLEANING APPARATUS,申请号JP19880083284-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH01255226(A)	申请公布日期	1989.10.12
申请号	JP19880083284	申请日期	1988.04.04
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	DANSUI YOSHITAKA
分类号	H01L21/304;B08B7/00	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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