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发明名称 VERFAHREN ZUM KONTAMINATIONSARMEN ZERKLEINERN VON MASSIVEM STUECKIGEM SILICIUM
摘要
申请公布号 DE3811091(A1) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 DE19883811091 申请日期 1988.03.31
申请人 HELIOTRONIC FORSCHUNGS- UND ENTWICKLUNGSGESELLSCHAFT FUER SOLARZELLEN MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE 发明人 BAUEREGGER, ROLF, 8269 BURGKIRCHEN, DE;BILDL, ERICH, POST FRANKING, AT;DIETL, JOSEF, DIPL.-PHYS. DR., 8265 NEUOETTING, DE
分类号 B02C19/18;B02C23/12;B28D1/22;B28D5/00;C01B33/02;C30B15/00;H01L31/04 主分类号 B02C19/18
代理机构 代理人
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