发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01256128(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880084919 申请日期 1988.04.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI EIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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