发明名称 GROWING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH01256113(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880082892 申请日期 1988.04.06
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 AKIYAMA MASAHIRO;UEDA TAKASHI;ONOZAWA SACHIKO
分类号 H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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