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发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01256115(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880082957 申请日期 1988.04.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAUCHI AKIHIRO;MOCHIZUKI YASUHIRO
分类号 H01L21/203;C23C14/32 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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