FORMATION OF FILM USING COAXIAL MAGNETRON SPUTTERING DEVICE,申请号JP19880081903-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF FILM USING COAXIAL MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01255668(A)	申请公布日期	1989.10.12
申请号	JP19880081903	申请日期	1988.04.01
申请人	KOBE STEEL LTD	发明人	MUNEMASA ATSUSHI;KUMAKIRI TADASHI;AKARI KOUICHIROU
分类号	C23C14/36;C23C14/34	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
主权项
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