发明名称 ANNEALING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01255218(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880083401 申请日期 1988.04.05
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KAIZAKI YASUHIRO
分类号 H01L21/26;H01L21/265 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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