| 发明名称 |
ARC CHAMBER FOR ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01255140(A) |
申请公布日期 |
1989.10.12 |
| 申请号 |
JP19880082357 |
申请日期 |
1988.04.05 |
| 申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
HIRAOKA HIDEO;EBARA KENICHI;UMEZAWA HIROYUKI;MORIGUCHI TAKESHI |
| 分类号 |
H01J37/16;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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