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发明名称 WAFER SUPPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01255144(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880083877 申请日期 1988.04.05
申请人 TERU BARIAN KK 发明人 AMIKURA MANABU
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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