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发明名称 SPUTTER SOURCE HAVING RAPID REPLACEABLE TARGET AND ADAPTOR RING
摘要
申请公布号 JPH01255666(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19890032521 申请日期 1989.02.10
申请人 TOOSOO S M D INC 发明人 KENESU BII FUIIRUDAA;ROBAATO ERU BERI;KONRATSUDO II FUTSUKUSU
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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