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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01255664(A)
申请公布日期
1989.10.12
申请号
JP19880081846
申请日期
1988.04.01
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
AKAHORI TAKASHI
分类号
C23C14/34;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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