发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01255664(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880081846 申请日期 1988.04.01
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 AKAHORI TAKASHI
分类号 C23C14/34;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址