发明名称 MEASURING THE THICKNESS OF THIN DIELECTRIC FILM
摘要
申请公布号 GB2216651(A) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 GB19890004641 申请日期 1989.03.01
申请人 * NANOMETRICS INC 发明人 VINCENT J * COATES;WARREN W * LIN
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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