| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A MESFET WITH SELF ALIGNED GATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0308939(A3) |
申请公布日期 |
1989.10.11 |
| 申请号 |
EP19880115612 |
申请日期 |
1988.09.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
WILLER, JOSEF, DR. |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
