发明名称 FORMING A CAPACITOR IN AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP0263287(A3) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 EP19870112331 申请日期 1987.08.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MUGGLI, RAYMOND ALLEN;MCCAFFREY, TERENCE PATRICK
分类号 H01L27/088;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/82;H01L23/56 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利