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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01253952(A) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 JP19880082451 申请日期 1988.04.04
申请人 SHARP CORP 发明人 KAGISAWA ATSUSHI
分类号 H01L21/8249;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
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