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发明名称 SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR ECHTZEITSTEUERUNG VON TESTERBAUGRUPPEN AUS DEM PATTERNGENERATOR
摘要
申请公布号 DD272515(A1) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 DD19880316153 申请日期 1988.05.30
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "KARL MARX" ERFURT,DD 发明人 FREYBERG,PETER,DD;GUETH,STEFAN,DD;WELSCHER,HANS,DD
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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