MAGNETRON CATHODE FOR THE SPUTTERING OF FERROMAGNETIC TARGETS,申请号EP19840113852-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MAGNETRON CATHODE FOR THE SPUTTERING OF FERROMAGNETIC TARGETS
摘要
申请公布号	EP0144838(B1)	申请公布日期	1989.10.11
申请号	EP19840113852	申请日期	1984.11.16
申请人	LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	WIRZ, PETER, DR.-PHYS.
分类号	H01J23/04;H01J37/34	主分类号	H01J23/04
代理机构		代理人
主权项
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