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发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING A III-V COMPOUND LAYER ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0295467(A3) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 EP19880108311 申请日期 1988.05.25
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY (A NEW JERSEY CORPORATION) 发明人 AGOSTINELLI, JOHN ALFONSE EASTMAN KODAK COMPANY;GYSLING, HENRY JAMES C/O EASTMAN KODAK COMPANY
分类号 H01L21/205;C23C18/12;H01L21/208;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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