发明名称 GATE STRUCTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01253969(A) 申请公布日期 1989.10.11
申请号 JP19880082664 申请日期 1988.04.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGAHAMA KOKI
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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