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发明名称
摘要
申请公布号
JPH01146531(U)
申请公布日期
1989.10.09
申请号
JP19880042066U
申请日期
1988.03.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L23/28;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
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