发明名称 SECONDARY ELECTRON DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01253143(A) 申请公布日期 1989.10.09
申请号 JP19880078149 申请日期 1988.04.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTAKA TADASHI
分类号 H01J37/244;G01B15/00;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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