| 发明名称 |
PREPARATION OF ULTRATHIN FILM OF CRYSTANLLITE SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01252516(A) |
申请公布日期 |
1989.10.09 |
| 申请号 |
JP19880080957 |
申请日期 |
1988.04.01 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
OTANI NOBORU;KAWAMURA KAZUHIKO |
| 分类号 |
C01B33/02;C23C16/24;C23C16/50 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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