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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01253669(A)
申请公布日期
1989.10.09
申请号
JP19880081484
申请日期
1988.04.01
申请人
NEC CORP
发明人
SANO TOSHI
分类号
G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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