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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH01253256(A) 申请公布日期 1989.10.09
申请号 JP19880079774 申请日期 1988.03.31
申请人 NEC CORP 发明人 ISOBE AKIRA
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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