METHOD OF CARRYING WAFER BOAT INTO AND OUT OF VERTICAL TYPE FURNACE,申请号JP19880081070-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF CARRYING WAFER BOAT INTO AND OUT OF VERTICAL TYPE FURNACE
摘要
申请公布号	JPH01253232(A)	申请公布日期	1989.10.09
申请号	JP19880081070	申请日期	1988.04.01
申请人	TEL SAGAMI LTD	发明人	WADA ATSUSHI
分类号	H01L21/22;H01L21/31	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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