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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01251079(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880078897 申请日期 1988.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MAEHARA YOICHIRO;ATSUMI KOICHIRO
分类号 H01L21/60;G02F1/133;G02F1/1345;G09F9/00 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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