发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01251749(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880078978 申请日期 1988.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAYANAGI MARIKO;MIZUSHIMA ICHIRO
分类号 H01L21/8249;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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