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发明名称 HIGH IONIZATION ION SOURCE CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH01251541(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880078647 申请日期 1988.03.31
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 OKUNO KAZUHIKO
分类号 H01J27/26;H01J27/02;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
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