发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01251639(A) 申请公布日期 1989.10.06
申请号 JP19880076094 申请日期 1988.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI TADAHIRO;KAWAHISA KATSUE;KAMEYAMA ATSUSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/338;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/118;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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