发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01251639(A) |
申请公布日期 |
1989.10.06 |
申请号 |
JP19880076094 |
申请日期 |
1988.03.31 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SASAKI TADAHIRO;KAWAHISA KATSUE;KAMEYAMA ATSUSHI |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/338;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/118;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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