发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH01250833(A) 申请公布日期 1989.10.05
申请号 JP19880079261 申请日期 1988.03.31
申请人 CANON INC 发明人 TACHIKAWA HITOSHI;AKETAGAWA MASATO;BAN MINOKICHI
分类号 G01J3/26 主分类号 G01J3/26
代理机构 代理人
主权项
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