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发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 GB2183905(B) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 GB19850028340 申请日期 1985.11.18
申请人 * THE PLESSEY COMPANY PLC 发明人 JOHN CHARLES * ALDERMAN
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/762 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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