发明名称 Method and Apparatus for Adjusting Electron Beam in Electron Microscope
摘要
申请公布号 GB1193250(A) 申请公布日期 1970.05.28
申请号 GB19690007047 申请日期 1969.02.10
申请人 CARL ZEISS-STIFTUNG;CARL ZEISS 发明人
分类号 H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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