发明名称 ROTATION APPARATUS FOR LEVITATOR
摘要
申请公布号 JPH01248977(A) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 JP19880074378 申请日期 1988.03.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO TOSHIO;OGIWARA MASAHIRO;KANAZAWA HIROYUKI;KIWAKI HISAKATSU
分类号 H01L39/00;H02N11/00 主分类号 H01L39/00
代理机构 代理人
主权项
地址