发明名称 METHOD FOR DETECTING POSTURE OF INSTALLED STEM
摘要
申请公布号 JPH01248647(A) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 JP19880079114 申请日期 1988.03.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YASHIRO MASAKAZU
分类号 H01L23/02;H01S5/00 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项
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