发明名称 ANNULAR WEIR FOR SINGLE CRYSTAL PULLING UP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01249689(A) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 JP19880078365 申请日期 1988.03.30
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 NISHIMURA MITSUHIKO;MIYAZAKI YOSHIMASA;SHINOYAMA SEIJI
分类号 H01L21/208;C30B15/02;C30B15/10 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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