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经营范围
发明名称
TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH01248527(A)
申请公布日期
1989.10.04
申请号
JP19880075387
申请日期
1988.03.29
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAOETSU DENSHI KOGYO KK
发明人
SUMIYA HIROSHI;SATO SHIGEYUKI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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