发明名称 PROCESSES USING DISILANE
摘要
申请公布号 GB8919291(D0) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 GB19890019291 申请日期 1989.08.24
申请人 WATKINS-JOHNSON COMPANY 发明人
分类号 C23C16/22;C23C16/24;C23C16/42;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C23C16/22
代理机构 代理人
主权项
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