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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01248617(A) 申请公布日期 1989.10.04
申请号 JP19880074792 申请日期 1988.03.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUDA HIROSHI;KAI JUNICHI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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