PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSING APPARATUS FOR INTEGRATED CIRCUIT TESTING STATIONS,申请号EP19870302425-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSING APPARATUS FOR INTEGRATED CIRCUIT TESTING STATIONS
摘要
申请公布号	EP0259942(A3)	申请公布日期	1989.10.04
申请号	EP19870302425	申请日期	1987.03.20
申请人	TEKTRONIX, INC.	发明人	VEENENDAAL, CORNELIS T.
分类号	H01L21/66;G01L1/16;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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