| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01247575(A) |
申请公布日期 |
1989.10.03 |
| 申请号 |
JP19880077608 |
申请日期 |
1988.03.30 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
SUZUKI JUNICHI;KAWARADA HIROSHI;HIRAKI AKIO |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
